Современное технологическое оборудование для микроэлектроники
| Подзаголовок: | Пособие |
| Издательство: | Республиканский институт профессионального образования (РИПО) |
| Авторы: | Камлюк В.С., Камлюк Д.В. |
| Год издания: | 2022 |
| ISBN: | 978-985-895-032-3 |
| Тип издания: | учебное пособие |
| Гриф: | МО |
Библиографическая запись
Камлюк, В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022. — 267 c. — ISBN 978-985-895-032-3. — Текст : электронный // Электронный ресурс цифровой образовательной среды СПО PROFобразование : [сайт]. — URL: https://profspo.ru/books/125423 (дата обращения: 29.04.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
Об издании
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».
