Камлюк, В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники  : пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. —  Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022. — 267 c. — ISBN 978-985-895-032-3. — Текст : электронный // Электронный ресурс цифровой образовательной среды СПО PROFобразование : [сайт]. — URL: https://profspo.ru/books/125423 (дата обращения: 17.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей