Технологическое оборудование для микроэлектроники
| Подзаголовок: | Учебное пособие |
| Издательство: | Республиканский институт профессионального образования (РИПО) |
| Авторы: | Камлюк В.С., Камлюк Д.В. |
| Год издания: | 2014 |
| ISBN: | 978-985-503-369-2 |
| Тип издания: | учебное пособие |
| Гриф: | МО |
Библиографическая запись
Камлюк, В. С. Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014. — 392 c. — ISBN 978-985-503-369-2. — Текст : электронный // Электронный ресурс цифровой образовательной среды СПО PROFобразование : [сайт]. — URL: https://profspo.ru/books/67752 (дата обращения: 28.04.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
Об издании
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
