Камлюк, В. С. Технологическое оборудование для микроэлектроники  : учебное пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. —  Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014. — 392 c. — ISBN 978-985-503-369-2. — Текст : электронный // Электронный ресурс цифровой образовательной среды СПО PROFобразование : [сайт]. — URL: https://profspo.ru/books/67752 (дата обращения: 22.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей