Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники
| Подзаголовок: | Учебное пособие |
| Издательство: | Инфра-Инженерия |
| Авторы: | Величко А.А., Гришина И.В., Игнатов А.Н., Фадеева Н.Е., Филимонова Н.И. |
| Год издания: | 2023 |
| ISBN: | 978-5-9729-1316-9 |
| Тип издания: | учебное пособие |
| Гриф: |
Библиографическая запись
Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники : учебное пособие / А. А. Величко, И. В. Гришина, А. Н. Игнатов [и др.] ; под редакцией А. Н. Игнатова. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. — 352 c. — ISBN 978-5-9729-1316-9. — Текст : электронный // Электронный ресурс цифровой образовательной среды СПО PROFобразование : [сайт]. — URL: https://profspo.ru/books/133310 (дата обращения: 01.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
Об издании
Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 «Радиоэлектроника», 11.03.02 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей.
