Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники  : учебное пособие / А. А. Величко, И. В. Гришина, А. Н. Игнатов  [и др.] ; под редакцией А. Н. Игнатова. —  Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. — 352 c. — ISBN 978-5-9729-1316-9. — Текст : электронный // Электронный ресурс цифровой образовательной среды СПО PROFобразование : [сайт]. — URL: https://profspo.ru/books/133310 (дата обращения: 22.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей