Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы)
| Подзаголовок: | Учебное пособие |
| Издательство: | Техносфера |
| Авторы: | Груздов В.В., Колковский Ю.В., Концевой Ю.А. |
| Год издания: | 2017 |
| ISBN: | 978-5-94836-471-1 |
| Тип издания: | учебное пособие |
| Гриф: |
Библиографическая запись
Груздов, В. В. Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы) : учебное пособие / В. В. Груздов, Ю. В. Колковский, Ю. А. Концевой. — Москва : Техносфера, 2017. — 96 c. — ISBN 978-5-94836-471-1. — Текст : электронный // Электронный ресурс цифровой образовательной среды СПО PROFобразование : [сайт]. — URL: https://profspo.ru/books/84681 (дата обращения: 19.04.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
Об издании
Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.
