Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники
| Подзаголовок: | Учебное пособие |
| Издательство: | Республиканский институт профессионального образования (РИПО) |
| Авторы: | Камлюк В.С., Камлюк Д.В. |
| Год издания: | 2016 |
| ISBN: | 978-985-503-627-3 |
| Тип издания: | учебное пособие |
| Гриф: | МО |
Библиографическая запись
Камлюк, В. С. Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники : учебное пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2016. — 384 c. — ISBN 978-985-503-627-3. — Текст : электронный // Электронный ресурс цифровой образовательной среды СПО PROFобразование : [сайт]. — URL: https://profspo.ru/books/67660 (дата обращения: 21.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
Об издании
Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элементы – аппаратные и программные интерфейсы, пути организации данной связи с целью снижения аппаратных интерфейсов. Отдельные главы посвящены надежности и техническому диагностированию, обслуживанию и ремонту мехатронных систем. Предназначено для учащихся учреждений среднего специального образования, обучающихся по специальности «Мехатроника» (специализация «Мехатроник 5-го разряда (радиоэлектронное производство)»).
Рекомендуем
Структурная геология. Сдвиговая тектоника
