Технология интегральных микросхем
Характеристики
Библиографическая запись
Смирнов, В. И. Технология интегральных микросхем : учебное пособие / В. И. Смирнов. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. — 244 с. — ISBN 978-5-9729-1232-2. — Текст : электронный // Электронный ресурс цифровой образовательной среды СПО PROFобразование : [сайт]. — URL: https://profspo.ru/books/133077 (дата обращения: 01.11.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
Скачать библиографическую записьОб издании
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».






