Основы технологии электронной компонентной базы

Бодров Е.Э.

Характеристики

ПодзаголовокУчебное пособие

ИздательствоИнфра-Инженерия

Год издания2022

ISBN 978-5-9729-0846-2

Тип изданияУчебное пособие

Библиографическая запись

Бодров, Е. Э. Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Е. Э. Бодров. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. — 204 с. — ISBN 978-5-9729-0846-2. — Текст : электронный // Электронный ресурс цифровой образовательной среды СПО PROFобразование : [сайт]. — URL: https://profspo.ru/books/124225 (дата обращения: 28.10.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

Скачать библиографическую запись

Об издании

Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».