Кручинин, Д. Ю. Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие для СПО / Д. Ю. Кручинин, Е. П. Фарафонтова ; под редакцией В. А. Дерябина. — 2-е изд. — Саратов, Екатеринбург : Профобразование, Уральский федеральный университет, 2019. — 49 c. — ISBN 978-5-4488-0454-0, 978-5-7996-2891-8. — Текст : электронный // Электронный ресурс цифровой образовательной среды СПО PROFобразование : [сайт]. — URL: https://profspo.ru/books/87896 (дата обращения: 25.04.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей